Особенности сооружения опор в сложных условиях: Сооружение ВЛ в районах с суровыми климатическими и тяжелыми геологическими условиями...
История создания датчика движения: Первый прибор для обнаружения движения был изобретен немецким физиком Генрихом Герцем...
Топ:
Основы обеспечения единства измерений: Обеспечение единства измерений - деятельность метрологических служб, направленная на достижение...
Особенности труда и отдыха в условиях низких температур: К работам при низких температурах на открытом воздухе и в не отапливаемых помещениях допускаются лица не моложе 18 лет, прошедшие...
Выпускная квалификационная работа: Основная часть ВКР, как правило, состоит из двух-трех глав, каждая из которых, в свою очередь...
Интересное:
Наиболее распространенные виды рака: Раковая опухоль — это самостоятельное новообразование, которое может возникнуть и от повышенного давления...
Влияние предпринимательской среды на эффективное функционирование предприятия: Предпринимательская среда – это совокупность внешних и внутренних факторов, оказывающих влияние на функционирование фирмы...
Финансовый рынок и его значение в управлении денежными потоками на современном этапе: любому предприятию для расширения производства и увеличения прибыли нужны...
Дисциплины:
2024-02-15 | 21 |
5.00
из
|
Заказать работу |
|
|
Фотошаблоны являются основным инструментом для получения рисунка в слое ФР на подложке. Фотошаблон - это плоскопараллельная пластина из прозрачного материала, на которой имеется рисунок, состоящий из непрозрачных для света определенной длины волны участков, образующих топологию одного из слоев структуры прибора, многократно повторенного в пределах рабочего поля подложки. Топология структуры - рисунок (чертеж), включающий в себя размеры элементов структуры, их форму, положение и принятые допуски. Для изготовления ИМС необходим комплект ФШ в соответствии с количеством формируемых технологических слоев.
Чертеж фотошаблонов базовых и эмиттерных областей предсталены в Приложении 1 и в Приложении 2.
Заключение
В ходе курсового проекта была разобрана топология интегральной микросхемы, найдена эквивалентная электрическая схема логического элемента И-НЕ, по топологической схеме ТС-14 (Рис.1.3).
В ходе работы был произведен расчет профиля концентрации легирующей примеси в базовой и эмиттерной области структуры микросхемы, составлен технологический маршрут схемы по заданной технологии, так же рассчитана погрешность диффузионных элементов. Изготовлены чертежи фотошаблонов эмиттерных и базовых областей, представленных в приложении 1 и 2.
Список использованных источников
1. Данинилина Т.И., Смирнова К.И., Илюшин В.А., Величко А.А. – Процессы микро – и нанотехнологии. – Томск: ТУСУР, 2005. – 315 с.
2. Матсен Э.А., Крыжановский А.В. – Справочное пособие по конструированию микросхем. –Минск .: «Высшая школа», 1982. – 224 с.
3. Коледов Л.А. – Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок: Учебник для вузов.— М.: Радио и связь, 1989.— 400 с.
4. Данилина Т.И. – Технология тонкопленочных микросхем. – Томск: ТУСУР, 2007. – 151 с.
5. Парфенов О.Д. – Технология микросхем. – М.: Высшая школа, 1977. – 256с.
|
|
Особенности сооружения опор в сложных условиях: Сооружение ВЛ в районах с суровыми климатическими и тяжелыми геологическими условиями...
Индивидуальные очистные сооружения: К классу индивидуальных очистных сооружений относят сооружения, пропускная способность которых...
Таксономические единицы (категории) растений: Каждая система классификации состоит из определённых соподчиненных друг другу...
Автоматическое растормаживание колес: Тормозные устройства колес предназначены для уменьшения длины пробега и улучшения маневрирования ВС при...
© cyberpedia.su 2017-2024 - Не является автором материалов. Исключительное право сохранено за автором текста.
Если вы не хотите, чтобы данный материал был у нас на сайте, перейдите по ссылке: Нарушение авторских прав. Мы поможем в написании вашей работы!